显示面板制造采用低温等离子清洗，有效去除油脂提升ITO电极性能

guozhiwei

　　在高分辨率、高刷新率、柔性可折叠等新型显示技术快速发展的今天，显示面板制造对工艺精度与材料洁净度提出了前所未有的严苛要求。其中，作为透明导电层核心的ITO(氧化铟锡)电极，其表面洁净度直接关系到后续镀膜、光刻、蚀刻及OLED器件封装等关键工序的良率与稳定性。如何高效、环保、无损地去除ITO表面残留油脂、有机污染物及微尘颗粒，成为行业亟待突破的技术瓶颈。在此背景下，寒武纪技术推出的低温等离子清洗设备，凭借其独特的工艺优势与高度定制化的解决方案，正成为提升ITO电极性能、优化显示面板制造流程的关键利器。plasma等离子清洗机http://www.cpt-ion.com/寒武纪技术苏州有限公司专注于等离子清洗设备研发与生产:提供半导体、新能源、汽车等精密制造等领域的表面处理解决方案,自主创新技术打造高效、环保、智能的等高子表面处理设备,有效提升制造业中绝大部分材料的粘接度，密封性，增加表面能,及材料表面改性等作用.助力客户提升产品良率与工艺效率,支持非标定制,可提供有效设计方案！

　　一、ITO电极洁净度为何至关重要?

　　ITO薄膜广泛应用于LCD、OLED、Micro-LED等各类显示面板中，承担着透明导电的功能。然而，在ITO溅射沉积、搬运、存储或前道制程中，极易吸附空气中的水汽、有机挥发物(VOCs)、指纹油脂及微米级颗粒。这些污染物虽肉眼不可见，却会显著影响ITO表面的功函数、接触电阻及润湿性，进而导致以下问题：

　　镀膜附着力下降：后续功能层(如空穴传输层HTL)难以均匀成膜，出现脱层、针孔等缺陷;

　　电极接触不良：像素驱动电流不稳定，造成亮度不均、暗点甚至死像素;

　　光刻图形失真：光阻涂布不均，显影后线宽偏差大，影响高PPI面板的精细图案化;

　　器件寿命缩短：残留有机物在高温或电场作用下分解，加速OLED材料老化。

　　传统清洗方式如超声波清洗、溶剂擦拭或UV臭氧处理，虽有一定效果，但存在溶剂残留、清洗死角、材料损伤或效率低下等问题，难以满足高端显示面板对“原子级洁净”的需求。

　　二、寒武纪技术低温等离子清洗：精准、绿色、高效的洁净革命

　　针对上述痛点，寒武纪技术自主研发的低温等离子清洗设备，采用非平衡等离子体技术，在常温常压或低压环境下激发高活性氧、氮、氢等自由基与离子，对ITO表面进行纳米级“分子手术式”清洁。其核心技术优势体现在以下三方面：

　　无损高效去污

　　低温等离子体能量可控(通常低于10eV)，远低于ITO材料的键能阈值，可在不损伤导电层结构的前提下，高效分解并剥离油脂、硅油、助焊剂残留等顽固有机污染物。经第三方检测，清洗后ITO表面碳含量可降低90%以上，水接触角显著减小，表面能大幅提升。

　　全域均匀处理

　　寒武纪技术设备采用多频段射频耦合与气体流场优化设计，确保等离子体在大面积基板(兼容G6/G8.5甚至G10.5代线)上分布均匀，无清洗盲区。特别适用于曲面、微结构或柔性基底等复杂形貌的ITO电极处理。

　　绿色环保零排放

　　全过程无需使用有机溶剂，仅消耗少量工艺气体(如O、Ar、N)，反应副产物为CO、HO等无害物质，符合RoHS、REACH等国际环保标准，助力面板厂实现绿色智能制造。

　　三、寒武纪方案深度适配显示面板产线需求

　　寒武纪技术不仅提供高性能设备，更注重与客户工艺流程的无缝集成。其低温等离子清洗系统支持在线式(In-line)与离线式两种配置，可灵活嵌入Array段、Cell段或Module段前道工序。设备搭载智能控制系统，支持工艺参数实时监控、数据追溯与远程诊断，确保批次间一致性。此外，寒武纪技术团队可根据不同面板类型(刚性/柔性、AMOLED/LCD/Micro-LED)及ITO特性(方阻、厚度、粗糙度)，定制专属清洗配方，实现“一客户一设计”的精准服务。

　　某国内头部OLED面板制造商在引入寒武纪技术低温等离子清洗设备后，ITO电极接触电阻稳定性提升40%，后续蒸镀工序的膜层附着力不良率下降65%，年节省返工成本超千万元。另一柔性屏厂商则反馈，经等离子处理后的PI基板上ITO层，在反复弯折测试中表现出更优异的电学稳定性，产品良率显著提升。

　　随着AR/VR、车载显示、透明显示等新兴应用场景爆发，显示面板对性能与可靠性的要求将持续攀升。作为制造链条中不可或缺的“隐形推手”，寒武纪技术的低温等离子清洗设备，正以卓越的洁净能力、稳定的工艺表现和前瞻的技术布局，为ITO电极性能提升注入强劲动能。未来，寒武纪技术将继续深耕等离子体应用领域，以创新驱动中国高端显示制造迈向更高洁净度、更高良率、更可持续的新阶段。